Abstract:
Telah diketahui bahwa sejumlah logam, misalnya Palladium menyerap dan
Telash dikethui bahwa sejumlah logam, misalnya Palladium menycrap dan
mengeluarkan Hidrogen. Serapan atom tersebut mengubah fungsi kerja ( work
mengeluarkan Hidrogen Serapan atom tersebut mengubah fungsi kerja ( work
function ) dari permukaan logam. Dengan menggunakan lapisan tipis Palladium ( Pd )
function ) dari perukaan logam Dengan menggunakan lapisan tipis Palladium(Pd)
sebagai metal gate dari MOS ( Metal Oxide Semiconductor ) Transistor
sebagai metal gate dari MOS ( Metal Oxide Semiconductor ) Transistor
dikembangkanlah suatu komponen baru yang sensitif terhadap Hidrogen. Divais ini
dikembangknlah suatu komponen bar yang sensitif terhadap Hidrogen. Divis ini
mengambil keuntungan dari fakta, bahwa hidrogen sangat mudah terurai dan berdifusi
mengambil keuntungan danri fakta, bahwa hidrogen sangat mudah terurai dan berdifusi
dengan cepat dalam Palladium. Hidro
dengan cepat dalam Palladium. Hidrogen tersebut diserap oleh permukaan oksida gate
terseb�rap oleh permukaan oksida gate
dan mengubah fungsi kerja log
dan mengubah fungsi kerja logam, sehingga tegangan ambang ( threshold voltage )
, sehingga tegangan a
�ga
dari transistor MOS akan mengalami perubahan. Perubahan tegangan ambang yang
dari transistor MOS
terjadi berbandinglurus den@an,byyz.fya
ii@o@et
terjadi berbanding lurus dengan banyaknya hidrogen yang diserap oleh logam
palladium.
palladium
Dalam tgas akhir ini telah dilakukan pembuatan divais Transistor NMOS
dengan gate Palladium. Pembuatan divais dilakukan dengan teknologi pemrosesan
NMOS pada wafer silikon tipe p <11
.
NMOS pada wafer silikon tipe p <IHD> Aplikasi dari transistor MOS dengan gate Palladium ini adalah sebagai elemen
Aplikasi dari transistor MOS dengar gate Palladium ini adalah sebagai elemen
dari sensor yang berfungsi untuk mendeteksi Hidrogen atau senyawanya di udara
sampai dalam orde 10 ppm. Respon dari divais ini bekerja dengan baik pada suhu
dari sensor yang berfungsi untuk mendeteksi Hidrogen atau senyawanya di udara
sampai dalam orde IO ppm. Respon dari divais ini bekerja dengan baik pada suhu
\ 150C.
